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碁仕科技所提供的CCD檢測產品可幫助企業在生產線上監控產品, 良好的產品出現Pass的訊息,不良的產品出現Fail的訊息, 藉此可即早發現問題並解決問題, 以避免發生大量生產"不良品"的窘境, 減少因生產失誤所造成的損失!
碁仕科技所提供的CCD檢測產品可幫助企業在生產線上監控產品, 良好的產品出現Pass的訊息,不良的產品出現Fail的訊息, 藉此可即早發現問題並解決問題, 以避免發生大量生產"不良品"的窘境, 減少因生產失誤所造成的損失!
碁仕科技所提供的CCD檢測產品可幫助企業在生產線上監控產品, 良好的產品出現Pass的訊息,不良的產品出現Fail的訊息, 藉此可即早發現問題並解決問題, 以避免發生大量生產"不良品"的窘境, 減少因生產失誤所造成的損失!
碁仕科技所提供的CCD檢測產品可幫助企業在生產線上檢測2D Bar Code, 由於2D Bar Code 極小不易透過人工肉眼檢測, 其可經由機器視覺系統作 準確並有效率的檢測!
A:半導體零件常用的「矽」在短波紅外線(SWIR)的透射率相當高,所以使用短波紅外線攝影機能夠透視矽,利用這樣的特性,SWIR攝影機能有效的檢測零件內部或者矽本身的瑕疵。
矽的透射頻譜
Xenics攝影機在SWIR、VISNIR 響應頻譜
矽錠(ingot)或矽磚(brick)檢測
透過矽在短波紅外線穿透的特性,可使用Xenics SWIR攝影機觀察其內部是否有混入瑕疵、雜質或孔洞…等情況。
晶粒(die)切片損傷之檢測
在封裝前,透過矽在短波紅外線的穿透特性,可使用Xenics SWIR攝影機觀測晶粒是否有切片損傷相關等瑕疵。
晶圓(wafer)封裝的瑕疵檢測
透過矽在短波線的穿透特性,可使用Xenics SWIR攝影機檢測晶圓(wafer)封裝後內部有無瑕疵。
IC故障檢測
利用光子放出顯微(PEM)透過對IC通電,使特定元件放射出短波紅外線,再透過Xenics SWIR攝影機觀測其是否有異常發光等現象。
電致發光(EL)和光致發光(PL)檢測
利用電致發光(EL)和光致發光(PL),透過對太陽能電池通電使其發光,再藉由短波紅外線攝影機觀測內部瑕疵。
微小裂痕檢測
藉由line scan攝影機,檢查是否有微小裂痕(micro-crack)。
A: Xenics針對半導體產品的檢測,提供有效的解決方案:
不同解析度可供選擇的面掃描、線掃描短波紅外線(SWIR)攝影機,並運用在各類不同以矽為主的半導體零件的檢測。
型號 | Ingot & Brick inspection | Wafer & Die inspection | Photon Emission | PV EL & PL | PV Crack inspection |
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Xeva 320(TE3) | ○ | ○(TE3) | |||
Xeva 640 | ○ | ○ | ○ | ||
Bobcat 320 | ○ | ||||
Bobcat 640 | ○ | ○ | ○ | ||
Cougar | ○ | ||||
Cheetah TE3 | ○ | ||||
Lynx 1024 | ○ | ||||
Lynx 2048 | ○ | ○ |