德製相機超大視野,實現晶圓一次性大範圍全檢!
德國高解析工業相機SVS-Vistek採用多家知名廠牌的大尺寸感測器,如:Sony、 Canon、On Semi等,適合應用在大面積物體表面檢測。
例如在高度300mm下,搭配1億5000萬像素相機(型號:SHR411),即可完全涵蓋直徑12吋的晶圓,實現一次性大範圍全檢!減少單次取像所需時間。即使晶圓表面存在微小瑕疵,也能夠維持高精度檢測!避免在光刻、探測和切割等過程中產生的性能缺陷和廢料問題。
例如在高度300mm下,搭配1億5000萬像素相機(型號:SHR411),即可完全涵蓋直徑12吋的晶圓,實現一次性大範圍全檢!減少單次取像所需時間。即使晶圓表面存在微小瑕疵,也能夠維持高精度檢測!避免在光刻、探測和切割等過程中產生的性能缺陷和廢料問題。
