產品介紹

3D專區

HeliInspect H6

Heliotis White Light Interferometers heliInspect H6
  • 搭載heliSens™ S3系列感測器
  • 多種視野範圍可選,粗糙度符合 EN ISO 25178
  • 高解析可達次微米等級,高動態範圍HDR
  • 放大倍率從2倍到100倍

 

》感測器規格

型號 3D掃描技術 描述 光源 傳輸介面 支援軟體
heliSens S3 白光干涉 (White-Light Interferometer) high-speed CMOS sensor
with in-pixel signal processing
high power LED / SLED (選配) GigE heliSDK for C++, C# /
Halcon / Matrox / LabView / Python

 

》heliInspect H6規格表

型號 干涉儀模組 使用物鏡 光學解析度 [µm] 視野範圍 [mm] Z軸解析度 [nm] 光圈 [f] 工作距離 [mm] 型錄
H6 MIRAU-X50 Mirau 0.8 0.232x0.222 50 0.5 2.52
MIRAU-X20 Mirau 2 0.580x0.556 70 0.4 3.57
MIRAU-X10 Mirau 4 1.16x1.11 100 0.3 3.57
TG-R20 Michelson 20 5.86x5.62 100 0.07 56.6
TG-R10 Michelson 10 2.93x2.81 100 0.11 55.8
TG-R5 Michelson 5 1.47x1.41 100 0.17 14.1

操作手冊下載:

 Download